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　　证券日报网3月17日讯 ，恒运昌在承受调研者发问时表明，公司是国内抢先的半导体设备中心零部件供货商，主要是做等离子体射频电源体系、等离子体激起设备、等离子体直流电源、各种配件的研制、出产、出售及技术服务，并引入真空取得和流体操控等相关的中心零部件，环绕等离子体工艺供给中心零部件全体解决方案。公司根本的产品等离子体射频电源体系（等离子体射频电源及匹配器）被大范围的应用于半导体工艺中的薄膜堆积、刻蚀、离子注入、清洗去胶、键合等环节，且直接决议设备工艺才能、产品良率。历经十年，公司先后推出CSL、Bestda、Aspen三代产品系列等离子体射频电源体系，成功打破了美系两大巨子在国内长达数十年的独占格式，填补国内空白。公司研制的最新一代等离子体射频电源体系Cedar系列新产品，锚定更先进制程前沿范畴，现在处于验证阶段。

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